EBは加速電圧によって、照射される製品中に浸透する深さが変化します。加速電圧が高いほど、EBは深く浸透します。例えば、印刷など表面あるいは10 μｍ 程度のEB処理では低い加速電圧を、厚いプラスチックフィルムの架橋などでは高い加速電圧を利用します。
お客様の製品に適した加速電圧を選択することで、効率のよいEB処理が可能です。
電子線の加速電圧と浸透深さの関係を図２（125～300kV）と図３（125kv以下）に示しました。図３では特に低加速電圧に特化したEB装置の特性例を示しています。
グラフのX軸は浸透深さ（g/㎡）という単位ですが、被照射物の密度（g/㎥）で割ることで厚み（µm）に換算できます。
例えば一般的なポリエチレンですと約0.93g/㎥なので、100g/㎡の位置では約107.5µmとなります。
加速電圧選定の一例として、100µmの樹脂（密度1.4g/㎥）を裏面まで80%以上処理できる加速電圧は、140g/㎡の位置と80%が交差する点より大きい加速電圧の200kVを選定することになります。

線量はkGy（キログレイ）という単位で表します。用途、製品によって必要な線量が変わります。代表的な例を図４に示します。kGyは「吸収線量」と呼ばれる単位で、1Gy は、照射される物質1kgあたりに1ジュールのエネルギー吸収があることを表します。旧単位Mrad（メガラド）とは、10kGy＝1Mrad の関係があります。